MEMS硅陀螺性能改进

利用钛宝石飞秒激光实现硅硅陀螺性能改进

用钛宝石飞秒激光放大器搭建激光微加工系统，在MEMS陀螺表面实现微刻蚀，从而对陀螺的性能进行改进。在系统中，利用两个显微物镜实现对飞秒激光的同轴聚焦成像和侧向加工监测，保证加工精度及加工的位置精度。