利用钛宝石飞秒激光实现光纤光栅刻蚀
用钛宝石飞秒激光放大器直接透过光纤各类透明涂敷层的在纤芯上以逐点方式制造光纤光栅,从而实现对特定波长的调制。在刻蚀系统中,利用两个显微物镜,实现同轴及侧向的成像,进而可以对激光光斑进行监测及对刻蚀过程进行实时观察。三维高精密平移台的加持保证了整个刻蚀过程中的精度。
光纤光栅刻蚀系统图
光纤光栅刻蚀过程动画